Menu

Gaz Salımı: Yarı İletken Saflığı İçin Görünmez Tehdit 

evolast® FFKM Gaz Salınımını Nasıl Kontrol Altında Tutuyor?

Şimdi paylaş!        

        

Aralık 2025

Öne Çıkan Başlıca Noktalar 

  • Ortak mühendislik ölçülebilir değer yaratır: Condair ve Angst+Pfister, yakın iş birliği sayesinde uygulama bilgisi, malzeme uzmanlığı ve üretim yetkinliklerini bir araya getirerek, uygulama gereksinimlerine tam olarak uyarlanmış bir buhar hortumu geliştirdi. 
     
  • Maliyet etkinliği ile birlikte daha yüksek performans: Yeni geliştirilen buhar hortumu; daha yüksek kalite, daha uzun kullanım ömrü, içme suyu ile uyumluluk ve yüksek basınç ile sıcaklık dayanımı sunarken, ekonomik rekabetçiliğini de korur. 
     
  • Uzun vadeli ortaklık inovasyonu destekler: Güvene dayalı 20 yılı aşkın iş birliği; hızlı uyum, proaktif danışmanlık ve sürdürülebilir çözümleri mümkün kılarak Condair’in pazardaki konumunu ve güvenilirlik vaadini güçlendirir. 

Yarı iletken üretiminde, hassasiyet ve saflık başarının anahtarıdır. Wafer üretiminin ultra-temiz ortamlarında, mikroskobik kontaminantlar bile tüm üretim süreçlerini riske atabilir. Gaz salımı – malzemelerin ısı veya vakum altında gaz veya buhar salması – sessiz ama ciddi bir süreç bütünlüğü tehdididir. 

Bu nedenle, Angst+Pfister’in yüksek performanslı ve düşük gaz salımına sahip perfloroelastomer ailesi evolast®, yeni nesil yarı iletken sızdırmazlık çözümlerinin geliştirilmesinde kritik öneme sahiptir. Tamamen Avrupa’da tasarlanıp üretilen evolast®, endüstrinin en zorlu plazma, termal ve ıslak kimyasal koşullarında eşsiz süreç kararlılığı, saflık ve güvenilirlik sunar. 

Zorluk: Yarı İletken Ortamlarda Gaz Salımı 

Yonga üretiminde, malzeme seçimi bir sürecin nanometre seviyesinde hassasiyetle mi yoksa felaket seviyesinde kontaminasyonla mı sonuçlanacağını belirleyebilir. 

Elastomerler vakum, plazma veya yüksek sıcaklıklara maruz kaldığında uçucu organik bileşikler (VOC’ler), nem veya diğer kontaminantları salabilir. Bu buharlar wafer yüzeylerine yerleşebilir, plazma uniformitesini bozabilir ve kusur oluşumuna veya verim kaybına neden olabilir. 

Gaz salımının en küçük miktarları bile CVD (Kimyasal Buhar Biriktirme) veya aşındırma odalarında süreç kimyasını değiştirebilir, maliyetli duruşlara ve temizlik döngülerine yol açabilir. 

Mühendisler uzun süredir saflığı ve dayanıklılığı birleştiren düşük gaz salımlı elastomerler aramaktadır. Standart FKM malzemeleri, özellikle uzun süreli plazma maruziyetinde yetersiz kalır. Yüksek sıcaklıklarda ve agresif kimyasal ortamlarda kusursuz performans gösteren perfloroelastomer O-ring’lere duyulan ihtiyaç hiç bu kadar yüksek olmamıştı. 

  • Hygiene compliance in food environments: Springs, gaps, and bonding agents can trap product residues. Even microscopic contamination can lead to compliance issues. 
     
  • Chemical exposure from CIP/SIP procedures: Cleaning agents and sterilization media degrade many rubber compounds, shortening seal life and increasing replacement frequency. 

In practice, these challenges often overlap. A seal that survives chemical exposure may generate too much friction. A low-friction seal may struggle with hygienic design requirements. The result is frequent compromise and frequent maintenance. 

Çözüm: Ultra Temiz Performans için evolast® FFKM

Yarı iletken üretiminde gaz salımı sorununu çözmek için Angst+Pfister, malzeme kararlılığını yeniden tanımlayan evolast® FFKM sızdırmazlık bileşenlerini geliştirdi. 

Her evolast® formülasyonu, çalışırken minimum moleküler salımı garanti eden hassas polimer mimarisi ve kontrollü temiz oda işleme süreçlerini birleştirir. 

Tüm evolast® tipleri, montaj öncesi yüzey kontaminasyonunu sıfırlayan ultra saf temizlik ve vakumlu paketleme işleminden geçer. 

Results and Proof of Performance 

Seal performance must be proven under real operating conditions. Internal validation and field testing demonstrate that PTFE seals consistently outperform conventional elastomer solutions. 

Key observed results include: 

  • Extended seal lifetime through reduced friction and optimized lip geometry 
  • Stable performance under aggressive CIP/SIP cycles 
  • Significantly higher cycle counts than required by customer specifications 

In several test scenarios, validation was concluded early – not due to failure, but because the seals continued operating beyond the defined test targets. This outcome highlights the robustness of PTFE sealing technology in demanding environments. 

Use Case: Rotating Shafts in Food-Processing Equipment 
Kullanım Örneği: Plazma Aşındırma Odası Sızdırmazlığı


Zorluk: 
Yüksek plazma yoğunluğunda çalışan bir wafer aşındırma aracı, uzun süreli plazma maruziyeti sırasında bozulmayan ve moleküler kontaminant salmayan sızdırmazlık malzemeleri gerektiriyordu. Geleneksel elastomerler birkaç yüz saatten sonra yüzey erozyonu ve ölçülebilir VOC salımı gösteriyordu. 


Çözüm: 
Oksijen ve flor plazma ortamları için geliştirilmiş perfluoroelastomer evolast® PS341’e geçişle, ekipman stabil performans ve ihmal edilebilir gaz salımı elde etti. Sızdırmazlıklar +330°C’ye kadar bütünlüğünü korudu, minimum sıkışma ve görünür yüzey bozulması yaşanmadı. 

Video Soru-Cevap: Gaz Salımı Testleri ve Malzeme Saflığı

Bu röportajda, Angst+Pfister’de Hamur Geliştirme Teknik Uzmanı olan Simone Lavelli, şirketin evolast® FFKM bileşenlerini TDS ve temiz oda üretim protokolleri kullanarak nasıl doğruladığını açıklıyor.

İzleyiciler, moleküler saflık ile süreç güvenilirliği arasındaki bağlantıyı ve gaz salımı kontrolünün gelişmiş yarı iletken süreçlerinin bütünlüğünü nasıl koruduğunu öğrenecekler.

Sonuç

Yarı iletken endüstrisinde saflık performansı belirler. Her sızdırmazlık bileşeni, süreç güvenilirliğini, ekipman çalışma süresini ve wafer verimini sağlamak için belirleyici bir rol oynar.

evolast® ile Angst+Pfister, gelişmiş polimer mühendisliğini tam Avrupa üretim kontrolü ile birleştirerek düşük gaz salımlı elastomerler için yeni bir standart belirliyor. Tüm evolast® sınıflarında titiz TDS testleri, olağanüstü düşük toplam kütle kaybını göstererek vakum ve yüksek sıcaklık koşullarında üstün kimyasal ve termal kararlılığı doğruluyor.

Bu performans, evolast® perfloroelastomer bileşiminin hassasiyetini yansıtıyor. Yüksek oranda florlanmış bir polimer omurga, optimize edilmiş çapraz bağ yoğunluğu ve ultra temiz bileşim, bozunma ve oksidasyona dirençli stabil bir ağ oluşturur. Bu özellikler, kontaminant emisyonunu önler ve malzemenin bütünlüğünü, yarı iletken üretiminde tipik olarak görülen zorlu plazma ve kimyasal ortamlarda bile korur.

Sonuç ölçülebilir: tutarlı sızdırmazlık performansı, azalan bakım aralıkları ve süreç saflığının artması, doğrudan daha yüksek wafer verimine ve daha düşük toplam sahip olma maliyetine katkı sağlar. evolast®, mühendislerin ihtiyaç duyduğu dayanıklılığı modern yarı iletken üretiminin talep ettiği temizlikle birleştirir.

Moleküler kararlılık, saflık ve süreç güvenini sağlayarak evolast®, yarı iletken inovasyonunun kritik bir destekleyicisi olarak konumunu güçlendirir – her çipin merkezinde güven sunar.

Sıkça Sorulan Sorular (SSS)

Gaz salımı, katı malzemelerin ısı veya vakum altında gaz veya buhar salmasıdır. Yarı iletken ekipmanlarda bu emisyonlar moleküler kontaminasyona yol açabilir, wafer verimini düşürür ve temizlik döngülerini artırır. 

evolast®, olağanüstü moleküler stabiliteye sahip yüksek florlu polimerler kullanır ve temiz oda üretimi ve ultra saf paketleme ile birleştirilir. Bu, plazma ve termal strese rağmen minimum uçucu madde salımı sağlar. 

PS3 ailesi (PS321, PS341, PS342, PS343), düşük gaz salımı, düşük metal içeriği ve yüksek termal dayanıklılık sunarak plazma ve gaz biriktirme uygulamaları için optimize edilmiştir. 

Wafer yüzeylerinde moleküler film oluşumunu önler, süreç saflığını artırır, verimliliği tutarlı kılar ve bakım duruşlarını azaltır. 
 

Evet. PS221 ve PS251 gibi bileşikler sırasıyla +275 °C ve +340 °C’ye kadar güvenilir şekilde çalışır, ekstrem termal koşullarda elastikiyet ve saflığı korur. 

evolast® FFKM PS152, asit veya çözücü banyolarında bozulmaya ve kontaminant salımına karşı üstün direnç sunarak ıslak kimyasal işlemler için ideal çözümdür. 

Tüm evolast® bileşikleri %100 Avrupa’da üretilir; bu, ISO temiz oda standartlarına uygun compounding, test ve paketlemede tam kontrol ve eksiksiz izlenebilirlik sağlar. 

İşe yaramasını sağlıyoruz! 

Sadece bizimle iletişime geçin ve size hızlı bir şekilde geri dönelim!

Güncel kalın!

Bugün bültenimize kaydolun ve ürünler ve en son endüstri trendleri hakkındaki en yeni güncellemelerimizi alın!